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導向精度 主要軌運動軌跡的度。影響導向精度的主要因素有：導軌的幾何精度和接觸精度，導軌的結構形式，導軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

剛度 包括導軌自身剛度和接觸剛度。主要取決于導軌的形狀、尺寸與支承件的連接方式及受力狀況等因素。

固體潤滑是將固體潤滑劑覆蓋在導軌的摩擦表面上，形成黏結型固體潤滑膜，以降低摩擦，減少磨損。固體潤滑劑種類較多，按基本原料可分為金屬類、金屬化合物類、無機物類和有機物類。

機電一體化系統中的導向裝置一般是軌，導軌由運動件和承導件組成。各種機械運行時，由導軌副保證執行件的正確運動軌跡。并且導軌副也影響著執行件的運動特性。
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